主要用于捕集0.5um以下的顆粒灰塵及各種懸浮物。采用超細玻璃纖維紙作濾料，膠版紙、鋁膜等材料作分割板，與木框鋁合金膠合而成。每臺均經納焰法測試，具有過濾效率高、阻力低、容塵量大等特點。高效空氣過濾器可廣泛用于光學電子、LCD液晶制造，生物醫藥、精密儀器、飲料食品，PCB印刷等行業無塵凈化車間的空調末端送風處。高效和超高效過濾器均用于潔凈室末端，以其結構形式可分為有：有隔板高效、無隔板高效、大風量高效,超高效過濾器等。 　　另外還有三種高效過濾器，一種是超高效過濾器，能做得到凈化99.9995%。一種是抗菌型無隔板高效空氣過濾器，具有抗菌作用，阻止細菌進入潔凈車間，一種是亞高效過濾器，價格便宜以前多用于要求不高的凈化空間。